Boron11 Trichloride жартылай өткізгіш Допант жартылай өткізгіштері
Өнімді енгізу
Қалыпты температура мен қысымда, бор триклориді (BCL 3 ) - түтіннің, жанғыш, өткір, қышқыл иіс. Бор трихлориді тұз қышқылына және бор қышқылына бөлініп, сумен көп жылуды ыдырайды, гидролизге байланысты дымқыл ауада түтін шығарады, ал 3 алкогольде гидрохлин қышқылы мен бор қышқылы эфиріне енеді. Бор трихлориді реакцияның күшті қабілеті бар және әр түрлі үйлестіру қосылыстарын қалыптастыра алады. Бор триклориді қызған кезде шыны мен керамикамен реакция жасай алады, сонымен қатар ол әр түрлі органоборон қосылыстарын қалыптастыру үшін көптеген органикалық қосылыстармен реакция жасайды. BORON11 трихлориді негізінен (кремний) жартылай өткізгіш құрылғылардағы диффузиялық допинг үшін қолданылады. Борондар BCL 3- ті ыдыратып , жоғары температурада P-Type жартылай өткізгішті қалыптастыру үшін кремнийге таратылады. BCL 3-ті Al, Mosi 2 , Tasi 2 , TISI 2 , WSI және басқа материалдарды құрғақ ішуге де қолдануға болады .
Сапа сипаттамасы
|
items
|
Units
|
Index
|
|
Boron11 Trichloride≥
|
Vol.%
|
99.9995
|
|
Oxygen+Argon<
|
Vol.ppm
|
1
|
|
Nitrogen<
|
Vol.ppm
|
4
|
|
Ca
rbon monoxide<
|
Vol.ppm
|
0.5
|
|
Carbon dioxide<
|
Vol.ppm
|
0.2
|
|
Methane <
|
Vol.ppm
|
0.5
|
|
Total impurity content≤
|
Vol.ppm
|
5
|
|
Metal ion
|
Vol.ppm
|
Supply and demand agreement
|
Қолдану
Бор триклоридін биік таза бор, катализаторды өндіру үшін, силикат декомпозициясына арналған фликлизатор, сұйылтатын ағынды зат, сонымен қатар ол тероқидтағыш, нитридтер мен карбидтер қоспасы ретінде пайдаланылуы мүмкін. Жоғары таза бор11 трихлорид негізінен диффузиялық допинг, ионды имплантация, ион имплантациясы, құрғақ кремді және жартылай өткізгіш құрылғылар мен интеграцияланған тізбек өндірісінде қолданылады.
Қаптама және сақтау
Бор11 Трихлорид цилиндрге толтырылған. Boron11 трихлоридімен толтырылған цилиндр GB14193 тиісті ережелеріне сәйкес келеді. Қаптама сипаттамаларына 10L және 47L кіреді. Өнім көлеңкелі, құрғақ және желдетілетін қоймада 60 ℃ астында сақталады . Күнге түсіп, жылу көздерінен аулақ болуға тыйым салынады. Пакетті мөрленуі керек және оны алкали және басқа да қауіпті мақалалармен бөлек сақтау керек.
Contact Now
